Простые полупроводники
Германий. Один из наиболее хорошо изученных полупроводников. Упрощенная технологическая схема производства германия показана ниже
| германийсодержащая руда | концентрированная HCl | |
| тетрахлорид германия | глубокая очистка (экстракция и ректификация) | |
| очищенный GeCl4 | гидролиз водой | |
| дихлорид германия GeO2 | просушка | |
| GeO2 | восстановление в токе Н2 при 650оС | |
| Ge | металлическое травление в смеси кислот | |
| сплавление в слитки | очистка зонной плавкой | |
| выращивание монокристаллов по Чохральскому |
При зонной очистке вдоль горизонтально расположенного образца создается 4-5 узких расплавленных зон, перемещающихся вдоль слитка. Примеси оттесняются к концу слитка. Процесс повторяют много раз. Монокристаллы германия можно создавать диаметром до 300-500мм. Германий применяется для изготовления диодов различных типов, транзисторов, датчиков Холла, тензодатчиков, детекторов ядерных излучений и в ИК-оптике. Рабочий диапазон германиевых приборов от -60 до +70оС.
Кремний полупроводниковой чистоты получается по следующей примерной технологической схеме:
| превращение технического кремния в легколетучее |
| очистка соединения физическими и химическими методами |
| восстановление соединения |
| выделение чистого кремния |
| очистка кремния бестигельной зонной плавкой |
| выращивание монокристаллов |
Метод бестигельной зонной плавки позволяет получать кристаллы кремния до 100 мм. Схема этого метода показана на рисунке. Кремнивые приборы благодаря большей, чем у германия ширине запрещенной зоны, могут работать при более высоких температурах, чем германиевые. Верхний предел рабочей температуры достигает у кремниевых приборов 180-200оС. Кремний является пока единственным материалом для изготовления БИС и микропроцессоров. Кремний удается наращивать на монокристаллы или на инородные подложки при толщине слоя 5-10 мкм. Этот процесс производится при температуре, меньшей температуры плавления и называется эпитаксией, при наращивании на инородных подложках, нпример, на сапфире - гетероэпитаксией. Такие структуры используются как основа ИС наиболее быстродействующих, энергоемких и радиационно стойких.
Селен - элемент группы таблицы Менделеева, обладающий рядом интересных электрических свойств. Применяется для изготовления выпрямителей переменного тока, фотоэлементов, а также в технологии красок, пластмасс, керамики, как легирующая добавка при производстве стали, в электрофотографии.
Электротехнические материалы Лекции Теория конструктивных материалов Электрические цепи в постоянного и переменного тока
| |